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尾氣（廢氣）處理裝置
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四氯化硅處理成套系統(tǒng)，四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是應用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置，利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，本系統(tǒng)已獲，經(jīng)投放，取得了好的效益。
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